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產(chǎn)品資料
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實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置

產(chǎn)品名稱: 實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置
產(chǎn)品型號: ZFDT
產(chǎn)品特點: 實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置
日本 Excimer 目前主推的“高精度小型臭氧濃度下降離子分解裝置"型號為 OZFDT,并非“ZFDT"。OZFDT 專為桌面型紫外照射設(shè)備、小型臭氧發(fā)生器尾氣的“即時解毒"設(shè)計,可在無局部排風(fēng)的環(huán)境下,將臭氧濃度迅速降到安全水平 。

實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置 的詳細(xì)介紹

實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置

實驗室晶圓清洗小型臭氧濃度離子分解裝置

日本 Excimer 目前主推的“高精度小型臭氧濃度下降離子分解裝置"型號為 OZFDT,并非“ZFDT"。OZFDT 專為桌面型紫外照射設(shè)備、小型臭氧發(fā)生器尾氣的“即時解毒"設(shè)計,可在無局部排風(fēng)的環(huán)境下,將臭氧濃度迅速降到安全水平。主要特點如下:
  1. 分解原理
    采用“離子分解 + 非金屬催化劑"兩段式結(jié)構(gòu):
    • 前段電暈放電產(chǎn)生低溫等離子體,使 O? 初步裂解為 O? + O*;
    • 后段填充 Excimer  MnO?-沸石復(fù)合催化劑,把殘余臭氧轉(zhuǎn)化為氧氣,無二次污染物。
  2. 性能指標(biāo)(2025 版)
    • 入口臭氧濃度:≤ 1 000 ppm(瞬時峰值 1 500 ppm)
    • 出口臭氧濃度:< 0.1 ppm(符合 JIS B 9929 室內(nèi)臭氧≤0.1 mg/m3 要求)
    • 處理風(fēng)量:5–25 L/min(內(nèi)置 DC 無刷泵,可隨設(shè)備聯(lián)動啟停)
    • 壓損:≈ 120 Pa @ 10 L/min,對背壓敏感的小型 UV 腔體同樣適用
    • 催化劑壽命:≥ 8 000 h(每天 8 h 約可用 3 年),到期后模塊整體更換,重量僅 80 g
  3. 外形與接口
    • 主機(jī) 120×90×45 mm,0.35 kg,IP20 桌面放置
    • 進(jìn)氣/出氣為 φ6 mm 快擰接頭,標(biāo)配 1 m FEP 配管
    • 電源:DC 12 V/1 A(附帶 100–240 V AC 適配器),功耗 ≤ 8 W
    • 外部控制:光電隔離 RUN/STOP 信號,可與 UV 燈電源聯(lián)動;提供臭氧泄漏報警干接點
  4. 典型應(yīng)用
    • 準(zhǔn)分子(Excimer)UV 曝光機(jī)、O? 表面清洗機(jī)、小型臭氧水制取裝置的尾氣處理
    • 實驗室晶圓清洗、FPD 封裝預(yù)處理后,直接排入室內(nèi)空調(diào)環(huán)境
日本 Excimer 目前主推的“高精度小型臭氧濃度下降離子分解裝置"型號為 OZFDT,并非“ZFDT"。OZFDT 專為桌面型紫外照射設(shè)備、小型臭氧發(fā)生器尾氣的“即時解毒"設(shè)計,可在無局部排風(fēng)的環(huán)境下,將臭氧濃度迅速降到安全水平
。主要特點如下:
  1. 分解原理
    采用“離子分解 + 非金屬催化劑"兩段式結(jié)構(gòu):
    • 前段電暈放電產(chǎn)生低溫等離子體,使 O? 初步裂解為 O? + O*;
    • 后段填充 Excimer  MnO?-沸石復(fù)合催化劑,把殘余臭氧轉(zhuǎn)化為氧氣,無二次污染物。
  2. 性能指標(biāo)(2025 版)
    • 入口臭氧濃度:≤ 1 000 ppm(瞬時峰值 1 500 ppm)
    • 出口臭氧濃度:< 0.1 ppm(符合 JIS B 9929 室內(nèi)臭氧≤0.1 mg/m3 要求)
    • 處理風(fēng)量:5–25 L/min(內(nèi)置 DC 無刷泵,可隨設(shè)備聯(lián)動啟停)
    • 壓損:≈ 120 Pa @ 10 L/min,對背壓敏感的小型 UV 腔體同樣適用
    • 催化劑壽命:≥ 8 000 h(每天 8 h 約可用 3 年),到期后模塊整體更換,重量僅 80 g
  3. 外形與接口
    • 主機(jī) 120×90×45 mm,0.35 kg,IP20 桌面放置
    • 進(jìn)氣/出氣為 φ6 mm 快擰接頭,標(biāo)配 1 m FEP 配管
    • 電源:DC 12 V/1 A(附帶 100–240 V AC 適配器),功耗 ≤ 8 W
    • 外部控制:光電隔離 RUN/STOP 信號,可與 UV 燈電源聯(lián)動;提供臭氧泄漏報警干接點
  4. 典型應(yīng)用
    • 準(zhǔn)分子(Excimer)UV 曝光機(jī)、O? 表面清洗機(jī)、小型臭氧水制取裝置的尾氣處理
    • 實驗室晶圓清洗、FPD 封裝預(yù)處理后,直接排入室內(nèi)空調(diào)環(huán)境


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