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產(chǎn)品資料
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半導(dǎo)體制造應(yīng)用臺式非接觸磁場測量高斯計

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體制造應(yīng)用臺式非接觸磁場測量高斯計
產(chǎn)品型號: F71
產(chǎn)品特點: 半導(dǎo)體制造應(yīng)用臺式非接觸磁場測量高斯計
半導(dǎo)體制造應(yīng)用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

半導(dǎo)體制造應(yīng)用臺式非接觸磁場測量高斯計 的詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體制造應(yīng)用臺式非接觸磁場測量高斯計

半導(dǎo)體制造應(yīng)用臺式非接觸磁場測量高斯計

半導(dǎo)體制造應(yīng)用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產(chǎn)品定位

  • 半導(dǎo)體制造應(yīng)用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運(yùn)
  • 臺式高斯計/特斯拉計：非接觸磁場測量，0.1 mG – 35 T，臺式 2.1 kg
  • F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命

二、核心技術(shù)參數(shù)（F71）

表格
復(fù)制
項目參數(shù)
測量范圍0.1 mG – 35 T（全范圍）
精度0.01 %（0.01 % RDG）
分辨率0.1 mG（0.1 mG，16 bit）
采樣率1 MHz（1 MHz，實時）
頻率范圍DC – 50 kHz（AC 磁場）
溫度系數(shù)< 10 ppm/°C（-10 – 60 ℃）
探頭接口BNC + USB + RS-485（實時）
真空兼容≤ 1×10?? Pa（真空版探頭）
電源DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器）
尺寸/重量200×150×45 mm，2.1 kg
壽命5 年（探頭 + 主機(jī)）

三、功能亮點

  1. 0.1 mG – 35 T 全范圍：從地球磁場到 35 T 全范圍，半導(dǎo)體磁場全覆蓋
  2. 0.01 % 超高精度：0.01 % RDG，磁場重復(fù)性 ≤ 0.01 mG
  3. 1 MHz 高速采樣：1 MHz 實時采樣，適合快速磁場變化
  4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
  5. 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，實驗室即用
  6. 5 年壽命：探頭 + 主機(jī)，5 年免維護(hù)

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

復(fù)制
半導(dǎo)體磁控濺射┌─ 真空腔體 ─┐│               │磁場← F71 ← 真空饋通 BNC│               │└─ PLC/DCS ────┘
  • 磁場 0.1 T – 1 T，0.01 % 精度，1 MHz 實時
  • RS-485 實時輸出，PLC 閉環(huán)控制

五、實測數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗證）

  • 真空：1×10?? Pa，25 ℃
  • F71：
    • 磁場 0.1 T（±0.01 %）
    • 采樣 1 MHz（1 MHz）
    • 壽命 5 年（連續(xù)運(yùn)行）

六、選型與配件

表格
復(fù)制
件號說明
F71-VAC真空版（≤1×10?? Pa）
F71-AIR大氣版（標(biāo)準(zhǔn)）
F71-BNCBNC 探頭（標(biāo)準(zhǔn)）
F71-RS485RS-485 輸出（標(biāo)準(zhǔn)）

七、維護(hù)與可靠性

  • 探頭：5 年壽命，免維護(hù)
  • BNC：年漂移 < 0.1 %，無需校準(zhǔn)
  • 真空饋通：每月清潔一次
  • 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障


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