半導(dǎo)體特藥液高清潔真空氟龍加熱器
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體特藥液高清潔真空氟龍加熱器
產(chǎn)品型號: TFH-1305
產(chǎn)品特點: 半導(dǎo)體特藥液高清潔真空氟龍加熱器特藥液 · 氟龍加熱 · 半導(dǎo)體級 · 真空/大氣雙模式0-180 °C · ±0.1 °C · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 1.9 kg · 5 年壽命
半導(dǎo)體特藥液高清潔真空氟龍加熱器 的詳細介紹
半導(dǎo)體特藥液高清潔真空氟龍加熱器
半導(dǎo)體特藥液高清潔真空氟龍加熱器
特藥液 · 氟龍加熱 · 半導(dǎo)體級 · 真空/大氣雙模式
0-180 °C · ±0.1 °C · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 1.9 kg · 5 年壽命
一、產(chǎn)品定位
半導(dǎo)體領(lǐng)域特藥液:HF、H?SO?、H?PO?、NH?OH、有機溶劑
氟龍加熱器:PTFE + PFA,無顆粒,Class 100 兼容
真空/大氣雙模式:真空 ≤1×10?? Pa,0-180 °C,±0.1 °C
TFH-1305:0-180 °C,±0.1 °C,真空 ≤1×10?? Pa,5 年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)(TFH-1305)
| 項目 | 參數(shù) |
|---|
| 原理 | 氟龍加熱(PTFE + PFA) |
| 溫度范圍 | 0 – 180 °C(全范圍) |
| 精度 | ±0.1 °C(±0.1 °C,PID) |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa(真空版) |
| 大氣版 | 可選(內(nèi)置泵) |
| 接觸材料 | PTFE + PFA(無顆粒,Class 100) |
| 真空接口 | NW16(可轉(zhuǎn) NW25/NW40) |
| 電源 | DC 24 V 2 A(含 100-240 V 適配器) |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm,1.9 kg |
| 壽命 | 5 年(連續(xù)運行) |
三、功能亮點
0-180 °C 全溫度:氟龍加熱,全溫度精度 ±0.1 °C
±0.1 °C 超高精度:PID 閉環(huán),±0.1 °C 超高精度
≤ 1×10?? Pa 真空兼容:真空腔直接安裝,無泄漏
PTFE + PFA 高清潔:無顆粒,Class 100 高清潔
1.9 kg 超輕:A5 底面積,可手提移動,實驗室即用
5 年壽命:氟龍無磨損,5 年免維護
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體特藥液加熱┌─ 真空腔體 ─┐│ │加熱← TFH-1305 ← 真空饋通 NW16│ │└─ 回大氣 ────┘
五、實測數(shù)據(jù)(半導(dǎo)體驗證)
真空:1×10?? Pa,25 ℃
TFH-1305:
溫度 180 °C(±0.1 °C)
真空度 ≤ 1×10?? Pa(全范圍)
壽命 5 年(連續(xù)運行)
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|
| TFH-1305-STD | 標準型(NW16) |
| TFH-1305-PID | PID 控制器(可選) |
| TFH-1305-PT100 | PT100 傳感器(標準) |
| TFH-1305-RS485 | RS-485 輸出(標準) |
七、維護與可靠性
氟龍:5 年壽命,免維護
PT100:年漂移 < 0.1 %,無需校準
一、產(chǎn)品定位
半導(dǎo)體領(lǐng)域特藥液:HF、H?SO?、H?PO?、NH?OH、有機溶劑
氟龍加熱器:PTFE + PFA,無顆粒,Class 100 兼容
真空/大氣雙模式:真空 ≤1×10?? Pa,0-180 °C,±0.1 °C
TFH-1305:0-180 °C,±0.1 °C,真空 ≤1×10?? Pa,5 年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)(TFH-1305)
| 項目 | 參數(shù) |
|---|
| 原理 | 氟龍加熱(PTFE + PFA) |
| 溫度范圍 | 0 – 180 °C(全范圍) |
| 精度 | ±0.1 °C(±0.1 °C,PID) |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa(真空版) |
| 大氣版 | 可選(內(nèi)置泵) |
| 接觸材料 | PTFE + PFA(無顆粒,Class 100) |
| 真空接口 | NW16(可轉(zhuǎn) NW25/NW40) |
| 電源 | DC 24 V 2 A(含 100-240 V 適配器) |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm,1.9 kg |
| 壽命 | 5 年(連續(xù)運行) |
三、功能亮點
0-180 °C 全溫度:氟龍加熱,全溫度精度 ±0.1 °C
±0.1 °C 超高精度:PID 閉環(huán),±0.1 °C 超高精度
≤ 1×10?? Pa 真空兼容:真空腔直接安裝,無泄漏
PTFE + PFA 高清潔:無顆粒,Class 100 高清潔
1.9 kg 超輕:A5 底面積,可手提移動,實驗室即用
5 年壽命:氟龍無磨損,5 年免維護
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體特藥液加熱┌─ 真空腔體 ─┐│ │加熱← TFH-1305 ← 真空饋通 NW16│ │└─ 回大氣 ────┘
五、實測數(shù)據(jù)(半導(dǎo)體驗證)
真空:1×10?? Pa,25 ℃
TFH-1305:
溫度 180 °C(±0.1 °C)
真空度 ≤ 1×10?? Pa(全范圍)
壽命 5 年(連續(xù)運行)
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|
| TFH-1305-STD | 標準型(NW16) |
| TFH-1305-PID | PID 控制器(可選) |
| TFH-1305-PT100 | PT100 傳感器(標準) |
| TFH-1305-RS485 | RS-485 輸出(標準) |
七、維護與可靠性
氟龍:5 年壽命,免維護
PT100:年漂移 < 0.1 %,無需校準