產(chǎn)品資料
簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計
產(chǎn)品名稱: 簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計
產(chǎn)品型號: CRDS
產(chǎn)品特點: 簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計技術(shù)路線采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術(shù)，通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學試劑或耗材 。代表機型SPARK 系列免校準、免耗材，生命周期成本低小流量即可高響應(yīng)，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)適用于高純氣體、半導(dǎo)體特氣、低溫分離裝置等場景 HALO
簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計 的詳細介紹
簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計
簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計
- 技術(shù)路線
采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術(shù)，通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學試劑或耗材 。 - 代表機型
- 在 SPARK 基礎(chǔ)上擴展了 NH? 等更多雜質(zhì)通道，同樣免維護
- 主要面向超高純氣體與半導(dǎo)體工藝
- 免校準、免耗材，生命周期成本低
- 小流量即可高響應(yīng)，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
- 適用于高純氣體、半導(dǎo)體特氣、低溫分離裝置等場景
- SPARK 系列
- HALO KA Max 系列
- 性能亮點
- 檢測下限：常見雜質(zhì) 1 ppb–100 ppt 級
- 免校準、長期零漂移，適合無人值守在線運行
- 接氣部分為 SUS 等耐腐材質(zhì)，可測腐蝕性氣體；傳感器與激光/探測器非接觸，長期穩(wěn)定性高
- 技術(shù)路線
采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術(shù)，通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學試劑或耗材 。 - 代表機型
- 在 SPARK 基礎(chǔ)上擴展了 NH? 等更多雜質(zhì)通道，同樣免維護
- 主要面向超高純氣體與半導(dǎo)體工藝
- 免校準、免耗材，生命周期成本低
- 小流量即可高響應(yīng)，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
- 適用于高純氣體、半導(dǎo)體特氣、低溫分離裝置等場景
- SPARK 系列
- HALO KA Max 系列
- 性能亮點
- 檢測下限：常見雜質(zhì) 1 ppb–100 ppt 級
- 免校準、長期零漂移，適合無人值守在線運行
- 接氣部分為 SUS 等耐腐材質(zhì)，可測腐蝕性氣體；傳感器與激光/探測器非接觸，長期穩(wěn)定性高
- 典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體廠高純 N?、H?、Ar、He 中 H?O、CO、CO?、CH?、NH? 的 ppb 級監(jiān)控
- 空分、低溫分離裝置產(chǎn)品質(zhì)量保證
- 鋼瓶充裝、槽車運輸過程抽檢
- 使用與維護
- 開機即用，無需量程切換、漂移校正或耗材更換
- 結(jié)構(gòu)緊湊，可臺式、19″機架或便攜式安裝；支持模擬/數(shù)字輸出，方便接入 DCS
總結(jié)：TEKHNE 的 CRDS 分析計以“免校準、免耗材、ppb 級精度"為核心賣點，SPARK 與 HALO KA Max 兩大系列覆蓋了從現(xiàn)場抽檢到半導(dǎo)體超純氣體在線監(jiān)測的多種需求，是當前痕量水分和氣體雜質(zhì)檢測的利器。
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