電機(jī)直聯(lián)緊湊型水封式自冷卻真空泵

產(chǎn)品名稱: 電機(jī)直聯(lián)緊湊型水封式自冷卻真空泵

產(chǎn)品型號(hào): LEH30MS

產(chǎn)品特點(diǎn): 電機(jī)直聯(lián)緊湊型水封式自冷卻真空泵
無油、單級(jí)、水封、緊湊型 —— 實(shí)驗(yàn)室 & 分析儀器 front-end 標(biāo)準(zhǔn)
一、產(chǎn)品定位
水封式無油：使用去離子水作密封液，零油霧，適合激光、電鏡、半導(dǎo)體前道
電機(jī)直聯(lián)：無皮帶，免維護(hù)，體積比傳統(tǒng)水環(huán)泵小 40%
緊湊型：376×185×280 mm，23 kg，可直接放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)下方
單級(jí)水封：極限真空 33 mbar（abs），飽和水蒸氣 20 mbar，適

電機(jī)直聯(lián)緊湊型水封式自冷卻真空泵 的詳細(xì)介紹

電機(jī)直聯(lián)緊湊型水封式自冷卻真空泵

無油、單級(jí)、水封、緊湊型 —— 實(shí)驗(yàn)室 & 分析儀器 front-end 標(biāo)準(zhǔn)

一、產(chǎn)品定位

水封式無油：使用去離子水作密封液，零油霧，適合激光、電鏡、半導(dǎo)體前道
電機(jī)直聯(lián)：無皮帶，免維護(hù)，體積比傳統(tǒng)水環(huán)泵小 40%
緊湊型：376×185×280 mm，23 kg，可直接放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)下方
單級(jí)水封：極限真空 33 mbar（abs），飽和水蒸氣 20 mbar，適合含水/有機(jī)溶劑樣

二、核心技術(shù)參數(shù)（LEH30MS）

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	參數(shù)
原理	單級(jí)水封式（liquid ring）+ 電機(jī)直聯(lián)
極限真空	33 mbar（abs） @ 20 °C 水
抽速	50 Hz：28 m3/h (0.47 m3/min)
水封流量	0.9 L/min（去離子水，電導(dǎo) <5 µS/cm）
噪音	≤ 55 dB(A) @ 50 Hz（1 m）
振動(dòng)	< 2.5 mm/s（無需減振墊）
介質(zhì)	空氣、N?、Ar、水蒸氣、有機(jī)溶劑蒸氣
材質(zhì)	泵體 SUS304，葉輪 316L，軸封 PTFE
進(jìn)水壓力	0.1-0.3 MPa（自來水或去離子水）
排水	重力自流，無泵
進(jìn)氣口	DN25（寶塔 Φ25 mm，可轉(zhuǎn) NW25）
電源	三相 200 V 50/60 Hz，0.9 kW
尺寸/重量	376×185×280 mm，23 kg

三、功能亮點(diǎn)

33 mbar 無油真空：比油旋片更潔凈，適合電鏡、激光腔排氣
水封自冷卻：連續(xù)運(yùn)行 24h 泵體 <40℃，無需額外冷卻水
可處理水/有機(jī)蒸氣：水封液稀釋冷凝液，無乳化問題
電機(jī)直聯(lián)：無皮帶，免維護(hù)；轉(zhuǎn)速 2800 rpm，振動(dòng) <2.5 mm/s
緊湊型 23 kg：實(shí)驗(yàn)臺(tái)下方即可安裝，節(jié)省空間
一鍵排水：停機(jī)后打開排水閥，自動(dòng)排空泵腔，防止水垢

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)圖

復(fù)制

激光器腔體┌─── 腔體 ───┐│             │進(jìn)氣← LEH30MS ← 水汽冷凝器（可選）│             │└─── 回大氣 ──┘

泵進(jìn)口接激光腔，出口接冷凝器回收溶劑
水封液 0.9 L/min 循環(huán)使用，每周更換一次

五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)證）

電鏡腔體 50 L，室溫 25 ℃
LEH30MS 50 Hz 運(yùn)行：

2 min 達(dá)到 50 mbar
5 min 極限 33 mbar
連續(xù) 8 h 水封溫升 <8 ℃，無乳化

六、選型與配件

表格

復(fù)制

件號(hào)	說明
LEH30MS-200	三相 200 V 50/60 Hz 標(biāo)準(zhǔn)型
LEH30MS-DI	去離子水套件（水箱+流量計(jì)）
LEH30MS-COND	溶劑冷凝器（回收乙醇、丙酮）
LEH30MS-NW25	NW25 快接法蘭套件

七、維護(hù)與可靠性

水封液：每周更換，防止水垢（電導(dǎo) <5 µS/cm）
進(jìn)氣濾網(wǎng)：每月清洗一次
葉輪：無磨損，壽命 >20 000 h
無油設(shè)計(jì)，無需換油或處理廢油

八、結(jié)論

KASHIYAMA LEH30MS 以「33 mbar 無油真空 + 水封自冷卻 + 23 kg 緊湊 + 55 dB 靜音」四合一設(shè)計(jì)，讓電鏡、激光、半導(dǎo)體前道獲得「潔凈、緊湊、免維護(hù)」的真空源，是實(shí)驗(yàn)室水封真空泵的「臺(tái)式標(biāo)準(zhǔn)機(jī)」

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