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產(chǎn)品資料
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數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵

產(chǎn)品名稱(chēng): 數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵
產(chǎn)品型號(hào): UTM-1400FW
產(chǎn)品特點(diǎn): 數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵
日本 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數(shù)字磁懸浮型復(fù)合渦輪分子泵，主打“大流量＋寬量程“排氣，定位在中-高負(fù)荷工藝（干法刻蝕、CVD、磁控濺射等）主抽或?qū)p-重混合氣體做高抽速排氣。
額定抽速（N?）：1490 L/s（VG250 法蘭，

數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵 的詳細(xì)介紹

數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵

數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵

日本 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數(shù)字磁懸浮型復(fù)合渦輪分子泵，主打"大流量＋寬量程"排氣，定位在中-高負(fù)荷工藝（干法刻蝕、CVD、磁控濺射等）主抽或?qū)p-重混合氣體做高抽速排氣。綜合各道 2025 年仍在發(fā)布的規(guī)格表，可歸納如下核心信息：

一、主要性能參數(shù)

  • 額定抽速（N?）：1490 L/s（VG250 法蘭，無(wú)保護(hù)網(wǎng)）
  • 極限壓力：<10?? Pa（配推薦前級(jí)泵，23 ℃空載）
  • 最大允許前級(jí)背壓：約 80 Pa（FW 系列設(shè)計(jì)背壓高于傳統(tǒng)機(jī)型，可配更小前級(jí)泵）
  • 壓縮比：N?＞1×101?，H?≈ 2×10?
  • 可變速范圍：25 % – 100 %（數(shù)字控制，自動(dòng)跟蹤負(fù)載）
  • 冷卻方式：水冷（內(nèi)置水道，水流量 2 L/min，25 ℃）
  • 允許全方向安裝，不受磁懸浮軸承角度限制

二、結(jié)構(gòu)與技術(shù)特點(diǎn)

  1. 五軸主動(dòng)磁浮軸承
    • 轉(zhuǎn)子 100 % 無(wú)接觸、無(wú)油、無(wú)脂，理論上免維護(hù) 10 萬(wàn)小時(shí)
    • 自帶斷電再生發(fā)電(Back-EMF)功能，停電時(shí)利用轉(zhuǎn)子動(dòng)能供電，維持懸浮至安全停機(jī)，無(wú)需更換電池
  2. 復(fù)合級(jí)段設(shè)計(jì)
    • 上部多段軸流渦輪＋下部 Holweck/螺紋牽引級(jí)，兼顧高壓縮比與大通量
    • 內(nèi)表面可選 Ni-P+DLC、陽(yáng)極氧化或特殊陶瓷涂層，提高抗鹵素/含氟工藝腐蝕能力（訂貨代碼 -HC）
  3. 數(shù)字控制 & 診斷
    • RS-485/UL-NET 接口，可遠(yuǎn)程讀取轉(zhuǎn)速、電流、振動(dòng)、溫度等 10 余項(xiàng)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)
日本 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數(shù)字磁懸浮型復(fù)合渦輪分子泵，主打"大流量＋寬量程"排氣，定位在中-高負(fù)荷工藝（干法刻蝕、CVD、磁控濺射等）主抽或?qū)p-重混合氣體做高抽速排氣。綜合各渠道 2025 年仍在發(fā)布的規(guī)格表，可歸納如下核心信息：

一、主要性能參數(shù)

  • 額定抽速（N?）：1490 L/s（VG250 法蘭，無(wú)保護(hù)網(wǎng)）
  • 極限壓力：<10?? Pa（配推薦前級(jí)泵，23 ℃空載）
  • 最大允許前級(jí)背壓：約 80 Pa（FW 系列設(shè)計(jì)背壓高于傳統(tǒng)機(jī)型，可配更小前級(jí)泵）
  • 壓縮比：N?＞1×101?，H?≈ 2×10?
  • 可變速范圍：25 % – 100 %（數(shù)字控制，自動(dòng)跟蹤負(fù)載）
  • 冷卻方式：水冷（內(nèi)置水道，水流量 2 L/min，25 ℃）
  • 允許全方向安裝，不受磁懸浮軸承角度限制

二、結(jié)構(gòu)與技術(shù)特點(diǎn)

  1. 五軸主動(dòng)磁浮軸承
    • 轉(zhuǎn)子 100 % 無(wú)接觸、無(wú)油、無(wú)脂，理論上免維護(hù) 10 萬(wàn)小時(shí)
    • 自帶斷電再生發(fā)電(Back-EMF)功能，停電時(shí)利用轉(zhuǎn)子動(dòng)能供電，維持懸浮至安全停機(jī)，無(wú)需更換電池
  2. 復(fù)合級(jí)段設(shè)計(jì)
    • 上部多段軸流渦輪＋下部 Holweck/螺紋牽引級(jí)，兼顧高壓縮比與大通量
    • 內(nèi)表面可選 Ni-P+DLC、陽(yáng)極氧化或特殊陶瓷涂層，提高抗鹵素/含氟工藝腐蝕能力（訂貨代碼 -HC）
  3. 數(shù)字控制 & 診斷
    • RS-485/UL-NET 接口，可遠(yuǎn)程讀取轉(zhuǎn)速、電流、振動(dòng)、溫度等 10 余項(xiàng)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)


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