半導體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計半導體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計

1. 結(jié)構(gòu)簡單：流路中只有渦流發(fā)生器和渦流檢測器，結(jié)構(gòu)簡單，壓力損失小，不易漏液。
2. 檢測器不與液體相接：因此適合用于各種液體工藝流程的監(jiān)控，機身材質(zhì)采用PFA，無粒子。
3. 適用于全球規(guī)格：獲得CE標志認證。
4. 接液部分采用聚四氟乙烯材質(zhì)：無O環(huán)，適合用于半導體工藝流程中液體流量的監(jiān)控。
5. 可靠性、耐用性良好：沒有可移動部分，不會因安裝姿勢而產(chǎn)生誤差。
6. 內(nèi)置溫度傳感器：在有液體通過時，實現(xiàn)了液體溫度的可監(jiān)測性，通過溫度補償減少了因液溫變化而產(chǎn)生的精度誤差。
7. 防水性相當于IP 65等級：電源為12-24VDC單電源驅(qū)動。

1. 結(jié)構(gòu)簡單：流路中只有渦流發(fā)生器和渦流檢測器，結(jié)構(gòu)簡單，壓力損失小，不易漏液。
2. 檢測器不與液體相接：因此適合用于各種液體工藝流程的監(jiān)控，機身材質(zhì)采用PFA，無粒子

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3. 適用于全球規(guī)格：獲得CE標志認證。
4. 接液部分采用聚四氟乙烯材質(zhì)：無O環(huán)，適合用于半導體工藝流程中液體流量的監(jiān)控

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5. 可靠性、耐用性良好：沒有可移動部分，不會因安裝姿勢而產(chǎn)生誤差。
6. 內(nèi)置溫度傳感器：在有液體通過時，實現(xiàn)了液體溫度的可監(jiān)測性，通過溫度補償減少了因液溫變化而產(chǎn)生的精度誤差

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7. 防水性相當于IP 65等級：電源為12-24VDC單電源驅(qū)動

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