半導(dǎo)體制造測量超微量濃度監(jiān)測水分計(jì)
半導(dǎo)體制造測量超微量濃度監(jiān)測水分計(jì)

1. 小型尺寸：采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球，使得設(shè)備體積小巧。
2. 高靈敏度測量：能夠按指令測量ppmv或ppbv級(jí)別的微量水分。
3. 快速測量：使用10nm厚的敏感膜，測量時(shí)間小于1秒或小于30秒。
4. 彈性表面波（SAW）技術(shù)：利用交叉狀電極（IDT：Inter Digital Transducer）在表面產(chǎn)生彈性波，對(duì)小球赤道上噴涂的感應(yīng)膜的輕微變化做出反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度傳感。
5. 應(yīng)用優(yōu)勢：適合各種測量應(yīng)用，配備功能系列，實(shí)現(xiàn)傳感器單元的小型化。高靈敏度且范圍寬，即使微量的水也能檢測出。高速檢測利用厚度僅為10nm的感應(yīng)膜，實(shí)現(xiàn)的高速檢測。實(shí)時(shí)控制對(duì)難以控制的水含量進(jìn)行實(shí)時(shí)控制。
6. 實(shí)時(shí)監(jiān)測：響應(yīng)速度極快，可實(shí)時(shí)監(jiān)測含水量變化，可測量含水量和背景氣體成分分析兩項(xiàng)。
7. 精確測量：氣體中的水濃度可以精確測量到1ppb（十億分之一）的水平。

1. 小型尺寸：采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球，使得設(shè)備體積小巧

   。
2. 高靈敏度測量：能夠按指令測量ppmv或ppbv級(jí)別的微量水分

   。
3. 快速測量：使用10nm厚的敏感膜，測量時(shí)間小于1秒或小于30秒

   。
4. 彈性表面波（SAW）技術(shù)：利用交叉狀電極（IDT：Inter Digital Transducer）在表面產(chǎn)生彈性波，對(duì)小球赤道上噴涂的感應(yīng)膜的輕微變化做出反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度傳感

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5. 應(yīng)用優(yōu)勢：適合各種測量應(yīng)用，配備功能系列，實(shí)現(xiàn)傳感器單元的小型化

   。高靈敏度且范圍寬，即使微量的水也能檢測出

   。高速檢測利用厚度僅為10nm的感應(yīng)膜，實(shí)現(xiàn)的高速檢測

   。實(shí)時(shí)控制對(duì)難以控制的水含量進(jìn)行實(shí)時(shí)控制

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6. 實(shí)時(shí)監(jiān)測：響應(yīng)速度極快，可實(shí)時(shí)監(jiān)測含水量變化，可測量含水量和背景氣體成分分析兩項(xiàng)

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7. 精確測量：氣體中的水濃度可以精確測量到1ppb（十億分之一）的水平

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