晶圓用鍍膜裝置
A-52硅膠晶圓鍍層實(shí)驗(yàn)裝置套裝
這是用于2～12英寸硅晶圓的鍍膜裝置套件。通過使用專用的治具，可以處理半導(dǎo)體等問題?？梢赃M(jìn)行MEMS的精密鍍膜。
製品情報(bào)
A-52硅膠晶圓鍍層實(shí)驗(yàn)裝置套裝
晶圓用鍍膜裝置
A-52硅膠晶圓鍍層實(shí)驗(yàn)裝置套裝
這是用于2～12英寸硅晶圓的鍍膜裝置套件。通過使用專用的治具，可以處理半導(dǎo)體等問題?？梢赃M(jìn)行MEMS的精密鍍膜。
特長
水槽在進(jìn)行常時過濾的同時，從水槽底部產(chǎn)生緩和的對流，使其溢出的結(jié)構(gòu)。
有兩種類型：一種是單面溢流型，另一種是可以進(jìn)行高速攪拌的雙面溢流型。直接攪拌時使用槳式攪拌。
也可作為生產(chǎn)設(shè)備使用。
已在國內(nèi)外取得多項(xiàng)。
基板素材
不僅僅是硅片 SiC、玻璃、GaAs、InP 也可用于其他材料的基板。
關(guān)于特注制作
可根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)裝置，定制適合客戶樣品的形狀夾具和雙面鍍敷用夾具。
另外， 陽極氧化?陽極氧化用治具 還有其他設(shè)備的制作實(shí)績。
治具的種類也密閉型、非密閉型治具、水平式等。 聯(lián)系我們表單 歡迎隨時咨詢我們。
套裝明細(xì)
A-52-ST□AWJYPPA硅芯片用鍍層實(shí)驗(yàn)裝置套裝WJ型（YPP電源用）
| 製品番號 | 製品名 | 數(shù)量 |
A-52-ST□-P01A | 硅膠晶圓用水槽（亞克力制雙層底型） | 1 |
| A-52-ST□-P02A | 硅片用陰極墨盒（標(biāo)準(zhǔn)型）（*1） | 1 |
| A-52-ST□-P09A | 硅片用陽極支架（帶陽極背起毛） （*2） | 1 |
| A-52-ST□-P04D | 槳葉攪拌裝置 | 1 |
B-90-A20-APFA05 / | 迷你濾芯20APFA型（2?6英寸用） 迷你濾芯40APFWJ型（8英寸用） | 1 |
| A-63-M202 B-92-M10-P04A | 空氣泵M202（AC100V）（2?4英寸）。 | 1 |
| A-52-P18 | 空氣過濾器 | 1 |
| A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A | 晶圓水槽用加熱器WJ2型（2英寸） 300W PFA包覆加熱器（AC100V） 300W石英小型嵌入式加熱器WJB型（5-6英寸）。 500W石英加熱器（8英寸） | 2 1 3 3 |
| – | 溫度傳感器、加熱器用固定裝置 |
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