高精度測(cè)定用電鍍層應(yīng)變計(jì)式精密應(yīng)力計(jì)
高精度測(cè)定用電鍍層應(yīng)變計(jì)式精密應(yīng)力計(jì)
通過(guò)傳感器測(cè)量基板的應(yīng)變,實(shí)時(shí)測(cè)量鍍層內(nèi)部應(yīng)力。
通過(guò)一次測(cè)量可以測(cè)量各鍍層時(shí)間(皮膜厚度)下的應(yīng)力。此外,還可以測(cè)量一次鍍敷后的膜上再次鍍敷時(shí)的應(yīng)力??梢詼y(cè)量傳統(tǒng)應(yīng)力儀無(wú)法測(cè)量的微小應(yīng)力。在精密電鍍電源YPP系列的插槽中,插入專用的應(yīng)力計(jì)板進(jìn)行使用。
●符合JIS H8626標(biāo)準(zhǔn)。
●即使是微弱的應(yīng)力也可以進(jìn)行測(cè)量。適用于薄膜和晶圓等微弱產(chǎn)品的測(cè)量。(可從膜厚0.5μm以上進(jìn)行精密測(cè)量)
●也可以測(cè)量通過(guò)其他方式無(wú)法測(cè)量的初期應(yīng)力。
適用于微小部件。
●傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到連接到電源的PC中,無(wú)需計(jì)算即可自動(dòng)計(jì)算應(yīng)力值。此外,測(cè)量中的數(shù)據(jù)可以使用電腦實(shí)時(shí)顯示。將被積累起來(lái)。
通過(guò)傳感器測(cè)量基板的應(yīng)變,實(shí)時(shí)測(cè)量鍍層內(nèi)部應(yīng)力。
通過(guò)一次測(cè)量可以測(cè)量各鍍層時(shí)間(皮膜厚度)下的應(yīng)力。此外,還可以測(cè)量一次鍍敷后的膜上再次鍍敷時(shí)的應(yīng)力??梢詼y(cè)量傳統(tǒng)應(yīng)力儀無(wú)法測(cè)量的微小應(yīng)力。在精密電鍍電源YPP系列的插槽中,插入專用的應(yīng)力計(jì)板進(jìn)行使用。
●符合JIS H8626標(biāo)準(zhǔn)。
●即使是微弱的應(yīng)力也可以進(jìn)行測(cè)量。適用于薄膜和晶圓等微弱產(chǎn)品的測(cè)量。(可從膜厚0.5μm以上進(jìn)行精密測(cè)量)
●也可以測(cè)量通過(guò)其他方式無(wú)法測(cè)量的初期應(yīng)力。
適用于微小部件。
●傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到連接到電源的PC中,無(wú)需計(jì)算即可自動(dòng)計(jì)算應(yīng)力值。此外,測(cè)量中的數(shù)據(jù)可以使用電腦實(shí)時(shí)顯示。將被積累起來(lái)。
通過(guò)傳感器測(cè)量基板的應(yīng)變,實(shí)時(shí)測(cè)量鍍層內(nèi)部應(yīng)力。
通過(guò)一次測(cè)量可以測(cè)量各鍍層時(shí)間(皮膜厚度)下的應(yīng)力。此外,還可以測(cè)量一次鍍敷后的膜上再次鍍敷時(shí)的應(yīng)力??梢詼y(cè)量傳統(tǒng)應(yīng)力儀無(wú)法測(cè)量的微小應(yīng)力。在精密電鍍電源YPP系列的插槽中,插入專用的應(yīng)力計(jì)板進(jìn)行使用。
●符合JIS H8626標(biāo)準(zhǔn)。
●即使是微弱的應(yīng)力也可以進(jìn)行測(cè)量。適用于薄膜和晶圓等微弱產(chǎn)品的測(cè)量。(可從膜厚0.5μm以上進(jìn)行精密測(cè)量)
●也可以測(cè)量通過(guò)其他方式無(wú)法測(cè)量的初期應(yīng)力。
適用于微小部件。
●傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到連接到電源的PC中,無(wú)需計(jì)算即可自動(dòng)計(jì)算應(yīng)力值。此外,測(cè)量中的數(shù)據(jù)可以使用電腦實(shí)時(shí)顯示。將被積累起來(lái)。
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